InPower Dry vine Vakuumpumpe brukt i halvlederindustrien for å skape et rent og tørt vakuummiljø. finne et bredt spekter av bruksområder i halvlederindustrien på grunn av deres renslighet, pålitelighet og effektivitet. Disse pumpene er avgjørende for prosesser som kjemisk dampavsetning, fysisk dampavsetning, ioneimplantasjon og etsing.

Egenskaper:

Dry vine Vakuumpumpe er en type vakuumpumpe som kombinerer fordelene med tørrskrueteknologi med vannkjøling for å forbedre ytelsen og effektiviteten. Den tilbyr en pålitelig, effektiv og lite vedlikeholdsløsning for krevende vakuumapplikasjoner som krever både tørrdrift og effektiv varmeavledning.

Modell: LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500

Ultimativt vakuum: Mindre enn eller lik 1Pa

HASTIGHET 50 Hz:30-500 L/s

HASTIGHET 60 Hz:36 - 600 L/s

Modell			LGB30	LGB50	LGB70	LGB110	LGB150	LGB180	LGB200	LGB220	LGB270	LGB300	LGB360	LGB400	LGB500
HASTIGHET(50Hz)		L/s	30	50	83	110	150	180	200	230	270	300	360	360	500
HASTIGHET(50Hz)		m³/h	110	180	300	400	540	650	720	830	970	1080	1300	1500	1800
Ultimativt vakuum (50Hz)		Pa	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5
Maksimalt eksostrykk		bar	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.5	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2
STRØM (50Hz)		Kw	4	4	5.5/7.5	11	15	15	18.5	18.5	22	30	37	37	37
Motorhastighet (50 Hz)		rpm	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880
Koble	I	mm	50	50	65	65	100	100	150	150	150	150	150	150	150
Koble	UTE	mm	40	40	65	65	80	80	100	100	100	100	100	100	100
Vann	Strømme	L/min	6	6	10	15	20	20	25	25	28	28	28	28	28
	Press	MPa	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35
	Koble		G3/8"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"
Kjølemetode		Luft/vann	Luft/vann	Vann	Vann	Vann	Vann	Vann	Vann	Vann	Vann	Vann	Vann	Vann	Vann
Bråk		dB	75	75	75	76	76	78	78	78	80	80	85	85	85
Vekt		Kg	310	310	475	570	840	840	1200	1220	1250	1300	1350	1380	1400
Spesielle krav		I henhold til kravene kan den konfigureres med variabel frekvens, anti-korrosjon, eksplosjonssikker, etc.

inPower Dry vine Vakuumpumpe Bruksområde:

Halvlederproduksjon:

I halvlederfremstillingsprosesser som CVD, PVD, ioneimplantasjon og etsing, hjelper vannkjølte tørrskruevakuumpumper å opprettholde de nødvendige vakuumnivåene samtidig som de tilbyr effektiv varmeavledning for å sikre konsistent ytelse.

Tynnfilmavsetning:

Vannkjølte tørrskruepumper brukes i tynnfilmavsetningsteknikker som sputtering og fordampning, der presis vakuumkontroll og varmestyring er avgjørende for å avsette jevne tynne filmer på underlag.

Varmebehandlingsprosesser:

Bransjer involvert i varmebehandlingsprosesser, som metallurgi og romfart, er avhengige av vannkjølte tørrskruevakuumpumper for å skape vakuummiljøer for gløding, lodding og andre høytemperaturbehandlinger samtidig som systemet holdes kjølig.

Kjemisk og farmasøytisk prosessering:

Vannkjølte tørrskruepumper spiller en avgjørende rolle i kjemiske prosesseringsapplikasjoner der det er nødvendig å opprettholde et rent, tørt vakuum for reaksjoner, destillasjon og gjenvinningsprosesser for løsemidler.

Forskning og utvikling:

Laboratorier og forskningsfasiliteter på tvers av ulike bransjer bruker vannkjølte tørrskruevakuumpumper for testing og eksperimentering, og gir pålitelige vakuumforhold for å studere materialer, prosesser og utstyr.

Populære tags: tørr vinge vakuumpumpe, Kina tørr vinge vakuumpumpe produsenter, leverandører, fabrikk

Tørrvinge vakuumpumpe

inPower Dry vine Vakuumpumpe Bruksområde: